100fach gesteigerte Lichtempfindlichkeit gegenüber aktuellen CCD bzw. CMOS Bildsensoren
An der Harvard Universität haben Wissenschaftler um Eric Mazur während verschiedener Experimente eher zufällig das "Schwarze Silizium" erzeugt. Im Labor wurde die kristalline Oberfläche des Silizium mit starken Laserstrahlen beschossen. Die Oberfläche schmilzt dabei und bei der anschließenden Rekristallisation wird aus der Umgebung Schwefel eingeschlossen. Die glatte Oberfläche verwandelt sich dabei in eine Nano- bzw. Mikrostruktur, welche optisch undurchlässig und zugleich die Lichtempfindlichkeit um den Faktor 100 steigern soll.
Mit dieser neuen Technologie sind nicht nur sehr viel empfindlichere Bildsensoren für Digitalkameras möglich, das "Schwarze Silizium" soll sich auch für andere Einsatzgebiete wie beispielsweise für Nachtsichtgeräte eignen.
Der große Vorteil des "Schwarzen Siliziums" besteht darin, dass Fertigungsprozesse aktueller Bildsensoren mittels herkömmlichem frontside und ebenso mittels der neuen backside Illumination Fertigungsverfahren nahtlos auf das "Schwarze Silizium" umgestellt werden können. (dis)